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    D07-19B/BM系列质量流量控制器
    更新时间:
    编号项 目D07-19B1流量规格(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM(0~1,2,3,5,10,20,30) SLM2******度±1 % F.S. (20,30SLM: &...
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    编号 项 目 D07-19B
     
    1
     
    流量规格
    ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
    ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM
    2 ******度 ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)
    3 线性 ±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)
    4 重复精度 ±0.2 % F.S.
    5 响应时间 ≤2 sec
    6 工作压差范围 ≤10SLM: 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)
    >10SLM: 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)
    7 耐压 3 MPa (435.1 psig)
    8 工作环境温度 5  ℃ ~ 45 ℃
    9 输入输出信号 0 V ~ +5.00 V
    (输入阻抗大于 100K, 输出电流不大于 3mA)
    10 电源 +15 V 50 mA
    -15V 200 mA
    11 外形尺寸 见图 4
    12 重量 0.95 kg

    编号 项 目 D07-19BM
    1  
    流量规格
    ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
    ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM
    2 ******度 ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)
    3 线性 ±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)
    4 重复精度 ±0.2 % F.S.
    5 响应时间 ≤2sec
    6 气压降 <0.02 MPa (2.9 psid)
    7 耐压 10 MPa (1450.4 psig)
    8 工作环境温度 5  ℃ ~ 45 ℃
    9 输出信号 0 V ~ +5.00 V
    (输入阻抗大于 100K, 输出电流不大于 3mA)
    10 电源 +15 V 50 mA
    -15 V 50 mA
    11 外形尺寸 见图 4
    12 重量 0.7 kg